冷冻电子断层扫描技术相比传统方法在芯片研究上有哪些显著优势？

在深入研究光刻胶的微观动态时，传统的技术方法确实存在局限性，这也是困扰行业已久的问题。彭海琳教授团队采用的冷冻电子断层扫描技术（Cryo-ET）之所以强大，正是因为它精准地弥补了这些不足。

传统观测的“三大痛点”

在研究光刻胶的液相界面行为时，传统技术通常难以同时实现以下三点：

1. 原位观测： 无法在分子真实运动和反应发生的动态液体环境中进行观察。
2. 三维观测： 只能获取二维的截面信息，难以构建完整的分子空间结构。
3. 高分辨率观测： 难以达到足够高的分辨率来解析单个分子层级的细节。

冷冻电断层扫描的革命性

冷冻电子断层扫描技术通过快速冷冻液体样品，将其固定在接近真实状态的动态“快照”中，然后进行断层扫描成像。这项技术带来了革命性的优势：

• 原位和三维结合： 它在保留液体环境的同时，提供了完整的空间结构信息，可以清晰看到分子在界面上的堆叠和运动轨迹。
• 超高分辨率： 获得了优于5纳米分辨率的微观“全景照片”，这对于分子级别的研究至关重要。

这项技术为未来在原子/分子尺度上解析各类液相界面反应（比如光刻技术中的蚀刻和湿法清洗）提供了强大的工具，预示着可以在更基础的层面上去控制半导体工艺的缺陷。