OCS MEMS

OCS MEMS 指的是光刻胶（OC）和微机电系统（MEMS）的结合技术。光刻胶是用于半导体制造中的一种感光材料，而 MEMS 则是指尺寸在微米级别的微小机械装置。OCS MEMS 技术通过在 MEMS 器件的制造过程中使用特定的光刻胶，可以实现更精细、更复杂、性能更优越的微小机械结构，广泛应用于传感器、执行器等领域。